半導(dǎo)體工業(yè)制造過(guò)程中需要大量高水質(zhì)純水,水的電阻率一般需大于10MΩ·cm
,所產(chǎn)生的廢水大致可區(qū)分為蝕刻廢水
、光刻廢水、濾管清洗廢水
、反滲透廢水
、離子交換樹脂廢水,機(jī)械劃片和研磨(CMP)廢水等等
。
流動(dòng)系統(tǒng)
利用石化工程師和科學(xué)家團(tuán)隊(duì)多年研究和開(kāi)發(fā)的技術(shù),F(xiàn)low- TechHVAC創(chuàng)造了技術(shù)最先進(jìn)的無(wú)化學(xué)水處理技術(shù)系統(tǒng)可在今天的市場(chǎng)上。它結(jié)合時(shí)間測(cè)試證明科學(xué)與創(chuàng)新專利信號(hào)引入方法